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首页 > 产品展示 > 薄膜沉积系统 薄膜沉积系统

真空薄膜沉积系统

作者 管理员 浏览 1094 发布时间 2022-05-13 14:06:13

高真空和超高真空薄膜沉积系统

单通道沉积系统

CreaPhys沉积系统专门为有机电子及相关领域设计。以多套已运行的设备和积累的经验为基础,我们可为每一位客户个性化设计并制造符合特殊需要的每一套设备。以每一位用户可支付的价格长期提供优质的组件及完善的质量保证。我们的设备规格包含实验室小型系统,直至极端复杂的工业化定制设备。

说明:所有的蒸发器和部件都可以安装到高真空和超高真空系统之中,也可以单独销售。

单通道沉积系统(EVAP-x系列)

CreaPhys EVAP-x系列是为客户专门设计制造的单通道真空或高真空沉积系统。每一套系统都可以实现一至多个特定的科学研究或实际应用。这些设计经验源于我们在真空沉积领域已成功运行的多套系统,诸如DEME系列设备。通常情况下,EVAP-x系统已完整配备了必要的真空、机械和电子部件(客户特殊要求除外),达到了货到即用的水平。

基础系统

沉积腔尺寸

底板最大尺寸

技术参数

EVAP-150

150mm

50 X 50 mm2

请联系我们确定您的具体要求

EVAP-250

250mm

100 X 100 mm2

EVAP-300

300mm

150 X 150 mm2

EVAP-400

400mm

200 X 200 mm2

多通道沉积系统

多通道真空沉积系统集合了一组沉积腔,同时提供了一些互补性的其它功能。

说明:请咨询我们的工程师为您量身定做完全符合您要求的配置。

有机物制备与分析实验室系统

这套系统高度集成的用于实验室研究之目的的薄膜沉积系统。集多种有机物蒸发和金属蒸发与一体,并配备原位采样测试。所有部件均机械化,且工艺过程可以自动化。标准系统配置于300mm的玻璃罩内,且为高度模块化设计,同时已配备了高真空(HV)系统。

这个平台为特种无机物、有机物、以及金属层状沉积工艺提供了广泛、但又紧凑的全自动分析方案。

典型应用于有机物设备,如光电二极管(OLED),以及有机光电池设备(OPV)。

     

说明:请咨询我们的工程师为您量身定做完全符合您要求的配置。


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