微型有机物蒸发器DE系列
薄膜沉积系统核心组件
微型有机物蒸发器（DE系列）
微型有机物升华器专为实验室研究或微小规模的制备而设计，可以装配高真空或超高真空系统，主要用于通过热升华和沉积的方式制备有机分子（化合物）。升华器具有各种不同的体积，特殊的设计结构可以允许快速更换坩埚，各种材质的升华容器可选。
从规模上讲，CreaPhys微型有机物蒸发器可用于实验室研究、小批量生产，从操作真空上讲，可在高真空（HV）或超高真空（UHV）状态下工作。所有的蒸发器都具有较大范围的沉积速度和稳定的工作温度。CreaPhys提供不同体积的蒸发器体积和不同尺寸的承载架，同时提供各种形状的坩埚，集成安装的遮光板组件以及辅助的水冷系统。所有产品都可根据用户的特殊要求定制。
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技术参数： l 沉积速度：投掷距离150mm条件下，10-2… 50 A/Sec（与物质密切相关） l 温度： 50°C -800°C l 温度稳定性：< 0.1K l 温度传感器类型：K型 l 最大可提供体积：100 ccm |
选项： l 不同的承载架，如CF, ISO-KF, ISO-K等，以及不同大小的法兰连接 l 坩埚：氧化铝材质，圆锥形结构（标准），其它形状定制 l 不同型号的PID温度控制器 l 集成安装的遮光器组件（手动、气动、电动等） l 水冷系统 |
单个蒸发器组件 DE-X
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容积* |
蒸发器尺寸（mm） |
【大小】 |
订货编号 |
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A** |
B |
C |
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0.5 ccm |
100 |
15.5 |
46 |
-0.5 |
DE-0.5 |
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2 ccm |
100 |
35 |
42.7 |
-2 |
DE-2 |
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4 ccm |
110 |
35 |
53.7 |
-4 |
DE-4 |
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8 ccm |
125 |
35 |
68.7 |
-8 |
DE-8 |
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20 ccm |
145 |
35 |
90 |
-20 |
DE-20 |
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50 ccm* |
190 |
57 |
135 |
-50 |
DE-50 |
*对于圆锥形蒸发器，最大体积可达100ccm
**指最小的位于真空系统中的长度，可按照用户的要求延长
法兰选项
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法兰 |
【法兰】 |
订货编号 |
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不配备法兰 |
基本配置 |
DE-【大小】-BASE |
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DN40CF* |
CF40* |
DE-【大小】-CF40 |
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DN40KF* |
KF40 |
DE-【大小】-KF40 |
*更大的法兰需要定制。DN16CF或DN16KF对DE-0.5蒸发器许可。ISO-K法兰需要定制。
遮光板选项
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遮光板 |
【遮光板】 |
订货编号 |
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不配备遮光板 |
NOS |
DE-【大小】-【法兰】-NOS |
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集成式遮光板，手动 |
SHM |
DE-【大小】-【法兰】-SHM |
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集成式遮光板，气动* |
SHP |
DE-【大小】-【法兰】-SHP |
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集成式遮光板，电动* |
SHE |
DE-【大小】-【法兰】-SHE |
*有些遮光板不可配备到小型法兰上，如有必要，请咨询详细信息。
多组微型有机物蒸发器（DE系列）
CreaPhys多组微型有机物蒸发器将通过热蒸发原理进行真空沉积，在配备一个标准法兰、一个基本底座的情况下，可同时进行最多三个不同物料的真空沉积。各种热防护和水冷系统可确保温度的准确性和高效的热分离，因此，相邻的蒸发器之间并无干扰，各自的沉积速度在全温度范围内独立可控。
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技术参数： l 沉积速度：投掷距离150mm条件下，10-2… 50 A/Sec（与物质密切相关） l 温度： 50°C -800°C l 温度稳定性：< 0.1K l 温度传感器类型：K型 l 最大可提供体积：50 ccm l 集成的水冷系统 |
选项： l 不同的承载架，如CF,ISO-KF, ISO-K等，以及不同大小的法兰连接 l 集成安装的遮光器组件（手动、气动、电动等） l 坩埚：氧化铝材质，圆锥形结构（标准），其它形状定制 l 不同型号的PID温度控制器 l 在一个CF-40法兰上，最多可容纳3个蒸发器 l 仅仅对DE-DUAL-0.5，可设计水平和垂直两种状态 |
多组蒸发器组件 DE-Multi-X
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蒸发器个数 |
【多组】 |
订货编号 |
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2 |
DUAL |
DE-【DUAL】 |
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3 |
TRIPLE |
DE-【TRIPLE】 |
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容积 |
蒸发器尺寸（mm） |
【大小】 |
订货编号 |
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每一个蒸发器的容积* |
A |
B |
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2 ccm |
35 |
70 |
-2 |
DE-【Multi】-2 |
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4 ccm |
35 |
80 |
-4 |
DE-【Multi】-4 |
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8 ccm |
35 |
95 |
-8 |
DE-【Multi】-8 |
*对于圆锥形蒸发器
其它选项：
以水冷底板为基础的多组微型有机物蒸发器，可以安装于一个法兰盘上，或者组合在不同的遮光板上。没有遮光板时，一套由3个蒸发器组成的多组蒸发器组件可以安装在DN100法兰盘上。如果需要遮光板，则需要加大法兰盘至DN200。具体信息请联系咨询。
最小型多组蒸发器组件 DE-【Multi】-0.5
最小型多组蒸发器设计安装于非常有限的空间内，使用DN40法兰安装。
