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首页 > 产品展示 > 薄膜沉积系统 薄膜沉积系统

微型有机物蒸发器DE系列

作者 管理员 浏览 956 发布时间 2022-05-13 14:06:12

薄膜沉积系统核心组件

微型有机物蒸发器(DE系列)

微型有机物升华器专为实验室研究或微小规模的制备而设计,可以装配高真空或超高真空系统,主要用于通过热升华和沉积的方式制备有机分子(化合物)。升华器具有各种不同的体积,特殊的设计结构可以允许快速更换坩埚,各种材质的升华容器可选。

从规模上讲,CreaPhys微型有机物蒸发器可用于实验室研究、小批量生产,从操作真空上讲,可在高真空(HV)或超高真空(UHV)状态下工作。所有的蒸发器都具有较大范围的沉积速度和稳定的工作温度。CreaPhys提供不同体积的蒸发器体积和不同尺寸的承载架,同时提供各种形状的坩埚,集成安装的遮光板组件以及辅助的水冷系统。所有产品都可根据用户的特殊要求定制。

技术参数:

l 沉积速度:投掷距离150mm条件下,10-2… 50 A/Sec(与物质密切相关)

l 温度: 50°C -800°C

l 温度稳定性:< 0.1K

l 温度传感器类型:K

l 最大可提供体积:100 ccm

选项:

l 不同的承载架,如CF, ISO-KF, ISO-K等,以及不同大小的法兰连接

l 坩埚:氧化铝材质,圆锥形结构(标准),其它形状定制

l 不同型号的PID温度控制器

l 集成安装的遮光器组件(手动、气动、电动等)

l 水冷系统

单个蒸发器组件 DE-X

容积*

蒸发器尺寸(mm

【大小】

订货编号


A**

B

C



0.5 ccm

100

15.5

46

-0.5

DE-0.5

2 ccm

100

35

42.7

-2

DE-2

4 ccm

110

35

53.7

-4

DE-4

8 ccm

125

35

68.7

-8

DE-8

20 ccm

145

35

90

-20

DE-20

50 ccm*

190

57

135

-50

DE-50

*对于圆锥形蒸发器,最大体积可达100ccm

**指最小的位于真空系统中的长度,可按照用户的要求延长

法兰选项

法兰

【法兰】

订货编号

不配备法兰

基本配置

DE-【大小】-BASE

DN40CF*

CF40*

DE-【大小】-CF40

DN40KF*

KF40

DE-【大小】-KF40

*更大的法兰需要定制。DN16CFDN16KFDE-0.5蒸发器许可。ISO-K法兰需要定制。

遮光板选项

遮光板

【遮光板】

订货编号

不配备遮光板

NOS

DE-【大小】-【法兰】-NOS

集成式遮光板,手动

SHM

DE-【大小】-【法兰】-SHM

集成式遮光板,气动*

SHP

DE-【大小】-【法兰】-SHP

集成式遮光板,电动*

SHE

DE-【大小】-【法兰】-SHE

*有些遮光板不可配备到小型法兰上,如有必要,请咨询详细信息。

多组微型有机物蒸发器(DE系列)

CreaPhys多组微型有机物蒸发器将通过热蒸发原理进行真空沉积,在配备一个标准法兰、一个基本底座的情况下,可同时进行最多三个不同物料的真空沉积。各种热防护和水冷系统可确保温度的准确性和高效的热分离,因此,相邻的蒸发器之间并无干扰,各自的沉积速度在全温度范围内独立可控。

技术参数:

l 沉积速度:投掷距离150mm条件下,10-2… 50 A/Sec(与物质密切相关)

l 温度: 50°C -800°C

l 温度稳定性:< 0.1K

l 温度传感器类型:K

l 最大可提供体积:50 ccm

l 集成的水冷系统

选项:

l 不同的承载架,如CF,ISO-KF, ISO-K等,以及不同大小的法兰连接

l 集成安装的遮光器组件(手动、气动、电动等)

l 坩埚:氧化铝材质,圆锥形结构(标准),其它形状定制

l 不同型号的PID温度控制器

l 在一个CF-40法兰上,最多可容纳3个蒸发器

l 仅仅对DE-DUAL-0.5,可设计水平和垂直两种状态

多组蒸发器组件 DE-Multi-X

蒸发器个数

【多组】

订货编号

2

DUAL

DE-DUAL

3

TRIPLE

DE-TRIPLE

容积

蒸发器尺寸(mm

【大小】

订货编号

每一个蒸发器的容积*

A

B



2 ccm

35

70

-2

DE-Multi-2

4 ccm

35

80

-4

DE-Multi-4

8 ccm

35

95

-8

DE-Multi-8

*对于圆锥形蒸发器

其它选项:

以水冷底板为基础的多组微型有机物蒸发器,可以安装于一个法兰盘上,或者组合在不同的遮光板上。没有遮光板时,一套由3个蒸发器组成的多组蒸发器组件可以安装在DN100法兰盘上。如果需要遮光板,则需要加大法兰盘至DN200。具体信息请联系咨询。

最小型多组蒸发器组件 DE-Multi-0.5

最小型多组蒸发器设计安装于非常有限的空间内,使用DN40法兰安装。


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