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首页 > 产品展示 > 薄膜沉积系统 薄膜沉积系统

坩埚型金属蒸发器ME系列

作者 管理员 浏览 1052 发布时间 2022-05-13 14:06:09

薄膜沉积系统核心组件

坩埚型金属蒸发器(ME系列)

标准的ME-系列坩埚型金属蒸发器。通常的被沉积材料包括Ag, Mg, Ca, Cu Au 等。如果沉积材料具有腐蚀性(如铝等),请选择MEB系列及遮光板选项。

技术参数:

l        沉积速度:投掷距离250mm条件下,10-2 … 50 A/Sec(与物质密切相关)

l        温度: 300°C -1400°C

l       钨丝,带陶瓷绝热器

l       最大功率:9A/350W(与大小有关)

l        温度传感器类型:C

l        水冷系统(约4L/min

l        温度稳定性:<0.1K

l        适用Ag, Mg,Ca, Cu Au

选项:

l        法兰:CF法兰

l        不同大小的坩埚

l        电源供应

l        遮光器

l        PID温度控制器

坩埚型金属蒸发器ME-X

容积*

蒸发器尺寸(mm

【大小】

订货编号


A**

B

C

D



4 ccm

110

35

53.7

20

-4

ME-4

8 ccm

125

35

68.7

23

-8

ME-8

*对于圆锥形蒸发器

**指最小的位于真空系统中的长度,可按照用户的要求延长

法兰选项

法兰

【法兰】

订货编号

无法兰

BASE

ME-【大小】-BASE

DN40CF*

CF40

ME-【大小】-CF40

*更大的法兰、ISO法兰需要定制。水冷系统没有包括。

遮光板选项

遮光板

【遮光板】

订货编号

不配备遮光板

NOS

DE-【大小】-【法兰】-NOS

集成式遮光板,手动

SHM

DE-【大小】-【法兰】-SHM

集成式遮光板,气动*

SHP

DE-【大小】-【法兰】-SHP

集成式遮光板,电动*

SHE

DE-【大小】-【法兰】-SHE

*有些遮光板不可配备到小型法兰上,如有必要,请咨询详细信息。

特殊定制型蒸发器

多段加热微型有机物蒸发器 MZE系列

多段加热微型有机物蒸发器用于热敏性物质的柔性蒸发。PID温度控制下的温度梯度保证在任何一个加热段不发生雾化堵塞。另外,多段加热微型有机物蒸发器可用于多过程研究。

多组微型有机物蒸发器 MZE系列

多组微型有机物蒸发器以最大灵活性快速研究沉积过程。






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