坩埚型金属蒸发器ME系列
薄膜沉积系统核心组件
坩埚型金属蒸发器（ME系列）
标准的ME-系列坩埚型金属蒸发器。通常的被沉积材料包括Ag, Mg, Ca, Cu 和 Au 等。如果沉积材料具有腐蚀性（如铝等），请选择MEB系列及遮光板选项。
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技术参数： l 沉积速度：投掷距离250mm条件下，10-2 … 50 A/Sec（与物质密切相关） l 温度： 300°C -1400°C l 钨丝，带陶瓷绝热器 l 最大功率：9A/350W（与大小有关） l 温度传感器类型：C型 l 水冷系统（约4L/min） l 温度稳定性：<0.1K l 适用于Ag, Mg,Ca, Cu 和 Au 等 |
选项： l 法兰：CF法兰 l 不同大小的坩埚 l 电源供应 l 遮光器 l PID温度控制器 |
坩埚型金属蒸发器ME-X
容积* |
蒸发器尺寸（mm） |
【大小】 |
订货编号 |
|||
A** |
B |
C |
D |
|||
4 ccm |
110 |
35 |
53.7 |
20 |
-4 |
ME-4 |
8 ccm |
125 |
35 |
68.7 |
23 |
-8 |
ME-8 |
*对于圆锥形蒸发器
**指最小的位于真空系统中的长度，可按照用户的要求延长
法兰选项
法兰 |
【法兰】 |
订货编号 |
无法兰 |
BASE |
ME-【大小】-BASE |
DN40CF* |
CF40 |
ME-【大小】-CF40 |
*更大的法兰、ISO法兰需要定制。水冷系统没有包括。
遮光板选项
遮光板 |
【遮光板】 |
订货编号 |
不配备遮光板 |
NOS |
DE-【大小】-【法兰】-NOS |
集成式遮光板，手动 |
SHM |
DE-【大小】-【法兰】-SHM |
集成式遮光板，气动* |
SHP |
DE-【大小】-【法兰】-SHP |
集成式遮光板，电动* |
SHE |
DE-【大小】-【法兰】-SHE |
*有些遮光板不可配备到小型法兰上，如有必要，请咨询详细信息。
特殊定制型蒸发器
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多组微型有机物蒸发器以最大灵活性快速研究沉积过程。
