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首页 > 产品展示 > 薄膜沉积系统 薄膜沉积系统

船型金属蒸发器MEB系列

作者 管理员 浏览 914 发布时间 2022-05-13 14:06:10

薄膜沉积系统核心组件

船型金属蒸发器(MEB系列)

CreaPhys船型金属蒸发器可用于实验室研究、小批量生产,从操作真空上讲,可在高真空(HV)或超高真空(UHV)状态下工作。蒸发器安装于一个水冷底板上,也可以选择安装于不同型号的法兰盘上。

CreaPhys提供不同型号的蒸发器以适用于客户的不同要求。MEB系列传统形状的船型蒸发器可适用于标准金属物质(如Au, Ag, Cu, Mg等)的蒸发。如果需要对具有腐蚀性的可熔性金属(如铝和镍等)进行蒸发,则应该选择氧化铝坩埚蒸发器。

技术参数:

l        温度范围: 300°C -1400°C(对氧化铝铝坩埚,最高可达1700°C

l        沉积速度:投掷距离250mm条件下,10-2 … 100 A/Sec(与物质密切相关)

l        水冷系统

选项:

l        氧化铝坩埚型蒸发器;特殊的陶瓷材料船型蒸发器,及特殊的内屏蔽设计

l        不同材质、不同大小的金属蒸发器

l        电源供应

l        不同的安装架

l        多组蒸发器


船型金属蒸发器MEB-X系列

船型蒸发器体积

【大小】

订货编号

0.5 ccm

-0.5

MEB-0.5

1 ccm

-1

MEB-1

2 ccm*

-2

MEB-2

*2ccm体积仅限于与氧化铝坩埚蒸发器结合时方可配置

法兰选项

法兰

【法兰】

订货编号

无法兰

BASE

MEB-【大小】-BASE

DN63CF*

CF63

MEB-【大小】-CF63

*更大的法兰、ISO法兰需要定制。水冷系统没有包括。

遮光板选项

氧化铝蒸发器

【选项】

温度范围

订货编号


最高1400°C

MEB-【大小】-【法兰】

-AL

最高1700°C

MEB-【大小】-【法兰】-AL

说明:如果这些标准组件不能满足你的实际使用要求,欢迎直接咨询。

下图为不同用户定制的各种不同形状的微型蒸发器,包括船型、矩形、坩埚型、单个蒸发器、多组蒸发器等。



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