船型金属蒸发器MEB系列
薄膜沉积系统核心组件
船型金属蒸发器（MEB系列）
CreaPhys船型金属蒸发器可用于实验室研究、小批量生产，从操作真空上讲，可在高真空（HV）或超高真空（UHV）状态下工作。蒸发器安装于一个水冷底板上，也可以选择安装于不同型号的法兰盘上。
CreaPhys提供不同型号的蒸发器以适用于客户的不同要求。MEB系列传统形状的船型蒸发器可适用于标准金属物质（如Au, Ag, Cu, Mg等）的蒸发。如果需要对具有腐蚀性的可熔性金属（如铝和镍等）进行蒸发，则应该选择氧化铝坩埚蒸发器。
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技术参数： l 温度范围： 300°C -1400°C（对氧化铝铝坩埚，最高可达1700°C） l 沉积速度：投掷距离250mm条件下，10-2 … 100 A/Sec（与物质密切相关） l 水冷系统 |
选项： l 氧化铝坩埚型蒸发器；特殊的陶瓷材料船型蒸发器，及特殊的内屏蔽设计 l 不同材质、不同大小的金属蒸发器 l 电源供应 l 不同的安装架 l 多组蒸发器 |
船型金属蒸发器MEB-X系列
船型蒸发器体积 |
【大小】 |
订货编号 |
0.5 ccm |
-0.5 |
MEB-0.5 |
1 ccm |
-1 |
MEB-1 |
2 ccm* |
-2 |
MEB-2 |
*2ccm体积仅限于与氧化铝坩埚蒸发器结合时方可配置
法兰选项
法兰 |
【法兰】 |
订货编号 |
无法兰 |
BASE |
MEB-【大小】-BASE |
DN63CF* |
CF63 |
MEB-【大小】-CF63 |
*更大的法兰、ISO法兰需要定制。水冷系统没有包括。
遮光板选项
氧化铝蒸发器 |
【选项】 |
温度范围 |
订货编号 |
无 |
最高1400°C |
MEB-【大小】-【法兰】 |
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有 |
-AL |
最高1700°C |
MEB-【大小】-【法兰】-AL |
说明：如果这些标准组件不能满足你的实际使用要求，欢迎直接咨询。
下图为不同用户定制的各种不同形状的微型蒸发器，包括船型、矩形、坩埚型、单个蒸发器、多组蒸发器等。
